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2021年05月26日 | 國內首臺套直徑700mm超過精密立式柜臺數(shù)控磨床研發(fā)成功

發(fā)布者:煙雨江湖 來源: 愛集微 手機看文章 掃描二維碼
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北京博魯斯潘精密機床有限公司(以下簡稱“博魯斯潘”)成功研發(fā)國內首臺套直徑700mm超精密立式柜臺數(shù)控磨床。


據(jù)杭實資管消息,博魯斯潘與中國科學院長春光機所國望光學楊懷江博士團隊合作研發(fā)的光刻機物鏡系統(tǒng)超精密磨床ULTR-700VG于今年5月通過國家機床質量監(jiān)督檢驗檢測中心檢測。該磨床精度0.1~0.2μm,優(yōu)化環(huán)境干擾,可以穩(wěn)態(tài)到0.1μm。

紅馬資本消息顯示,該款機床主要用于超精密光學器件批量化加工,包括光刻機核心的物鏡系統(tǒng),對我國芯片產業(yè)上游突破國外封鎖具有重要意義,是解決“卡脖子”問題的關鍵裝備之一。

據(jù)悉,博魯斯潘成立于2006年,主要從事精密/超精密數(shù)控機床、計算機芯片制造所需要的超精密納米光學機床、精密超精密測試設備等高端裝備的研發(fā)設計、制造與銷售。


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