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在現代高性能工業、汽車、無人機等產業中，磁傳感器都作為關鍵器件發揮著重要作用，而美新半導體作為全球頂尖的微電子和半導體科技企業，將信號處理電路和多軸AMR磁感應單元集成到單個芯片上，大幅度提升了產品的性能和穩定性。

在傳統的多軸磁傳感器制造工藝中，首先需要蝕刻與傳感器連接的通孔，沉積厚介質層，蝕刻形成斜坡。接著再次對通孔蝕刻，露出下層電路，利用蝕刻技術保留感應磁阻圖形，最后直接沉積傳感器互連金屬連接PVO集成電路和感應磁阻圖形。在這種傳統的制造工藝中，無法去除PVO孔內的金屬表面氧化物，導致孔接觸電阻異常甚至傳感器失效。

為了解決這一問題，美新半導體于2018年6月12日提出一項名為“一種單芯片單軸或多軸磁阻傳感器及其制造方法”的發明專利（申請號：201810597724.7），申請人為美新半導體（無錫）有限公司。

圖1 單芯片磁阻傳感器制作流程圖

圖1展示了單芯片單軸或多軸磁阻傳感器的制造方法流程示意圖，首先提供有集成電路的晶圓210，其上表面形成有鈍化層，基底為硅（步驟110），緊接著在鈍化層上刻蝕出與磁阻傳感器連接的第一通孔，露出集成電路的金屬連線（步驟120），在刻蝕有第一通孔鈍化層的上表面沉積絕緣材料厚介質層（步驟130），然后對厚介質層進行光刻、蝕刻，形成斜坡以及凹槽（步驟140），對第一通孔上方介質層進行蝕刻，形成第二通孔，并露出下層金屬連線（步驟150）。接下來對厚介質層表面以及金屬連線進行清洗，去除金屬表面氧化物（步驟160），并直接沉積形成磁性感應薄膜圖形（步驟170），最后在上面沉積傳感器互連金屬層，蝕刻形成互連金屬層圖形，從而實現集成電路和感應磁阻圖形的電連接（步驟180）。

從上述磁傳感器制作流程圖中可看出，在沉積磁性感應薄膜前，先用物理或化學方法清洗第二通孔內的金屬連線表面，去除金屬氧化物，并在沉積磁感應薄膜后進行圖形光刻、刻蝕時保留第二通孔內的磁性感應薄膜，保護第二通孔內的金屬不氧化。

簡而言之，美新半導體的這項專利提供了一種單芯片單軸或多軸磁阻傳感器及其制造方法，通過增加化學或物理清潔和磁性感應薄膜的覆蓋保護，降低了傳感器的孔接觸電阻，實現了集成電路與上層傳感器更加優良的連接。

據悉，美新半導體所完成的這一新品磁傳感器早已量產并投放市場，其晶圓級封裝更是解決了上一代產品特殊封裝工藝的問題，并大大提升了產品性能，未來美新半導體還能帶來哪些令市場眼前一亮的新產品呢？讓我們拭目以待。

關鍵字：半導體引用地址：美國新半導體改進磁傳感器投入量產

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1. 創立與技術創新起點

艾迪沃德公司成立于2004年6月，自創立之初便確立了以研究、開發國際先進指紋識別技術為基本戰略的發展方向。在那個指紋識別技術剛剛興起的時代，艾迪沃德憑借其前瞻性的視野，迅速投入到這一領域的探索中。公司自主研發的指紋識別技術，經過不斷迭代與優化，逐漸成為了業界公認的優秀指紋識別核心算法之一。這一技術突破不僅為公司贏得了市場的初步認可，更為后續的產品開發奠定了堅實的基礎。

2. 產品多元化與市場拓展

隨著技術的不斷成熟，艾迪沃德開始將指紋識別技術應用于更多領域，推出了包括指紋考勤機、指紋門禁系統、指紋保險柜在內的多元化產品系列。這些產品憑借其高安全性、便捷性和穩定性，迅速在市場中占據了一席之地。特別是在安防、金融、教育等行業，艾迪沃德的產品得到了廣泛應用，進一步鞏固了其在指紋識別領域的市場地位。

3. OEM與ODM業務的發展

為了滿足不同客戶的定制化需求，艾迪沃德積極拓展OEM（原始設備制造商）和ODM（原始設計制造商）業務。公司憑借其強大的研發能力和生產能力，為眾多合作伙伴提供從產品設計、生產到售后的全方位服務。這一業務模式不僅為公司帶來了穩定的收入來源，還進一步提升了艾迪沃德在電子行業中的知名度和影響力。

4. 技術支持與解決方案提供

艾迪沃德深知技術支持對于客戶的重要性，因此公司組建了一支專業的技術支持團隊，為客戶提供包括技術咨詢、方案設計、系統集成在內的全方位服務。無論是大型項目還是小型應用，艾迪沃德都能根據客戶的具體需求，提供量身定制的解決方案。這種以客戶為中心的服務理念，贏得了客戶的廣泛贊譽和信賴。

5. 國際合作與品牌建設

在國際化戰略的推動下，艾迪沃德積極參與國際交流與合作，與多家國際知名企業建立了良好的合作關系。通過引進國外先進技術和管理經驗，艾迪沃德不斷提升自身的競爭力和創新能力。同時，公司還加大了品牌建設的力度，通過參加國際展會、發布新品等方式，提升品牌知名度和美譽度。這些努力不僅為公司帶來了更多的國際合作機會，也為艾迪沃德在全球電子行業中樹立了良好的品牌形象。

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