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Smart Sampling

Smart Sampling? 能夠在半導(dǎo)體制造環(huán)境中，與在線檢測(cè)工具聯(lián)動(dòng)，自動(dòng)完成晶圓檢測(cè)數(shù)據(jù)在線缺陷的取樣，是一個(gè)非常高效的自動(dòng)化方法。通過Smart Sampling，能夠利用公司的生產(chǎn)制造數(shù)據(jù)來判斷哪種類型的工具最適用于檢測(cè)并分類特定的缺陷。它改善了在線檢測(cè)工具的使用，并減少了在決策過程中的人為錯(cuò)誤。  允許用戶專注于檢測(cè)影響較大的根源。 更嚴(yán)格地權(quán)衡已知的問題，輕松地投入到新問題的研究中。 生成各類檢測(cè)工具集的多重樣本和取樣類型。 完成通常需要手工進(jìn)行的自動(dòng)取樣。 以用

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