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佳能將于2018年10月下旬起正式發售FPD（Flat Panel Display）曝光設備新品，型號為“MPAsp-H1003T”。該產品針對第8代玻璃基板尺寸※1研發，實現了運用2.0μm（L/S※2）的解析度對65英寸液晶面板進行一次曝光的技術。

隨著平板電視的普及，今后的電視市場需求方向，將向以65英寸為主的大尺寸、搭載4K和8K技術的高精細化、以及以有機EL面板為代表的獲得Ultra HD Premium※3認證的高品質電視方向發展。新產品針對在電視機等液晶平板制造業中被廣泛使用的第8代玻璃基板所設計，使高品質65英寸液晶面板的能夠實現量產。

實現運用2.0μm解析度對65英寸液晶面板的一次曝光

佳能的FPD曝光設備采用了搭載“Mirror Projection”一次曝光技術的鏡面光學系統，通過大范圍曝光，實現了大型液晶面板的量產。通過新開發的鏡面光學系統與獨特的加工技術，新產品保持了與原機型“MPAsp-H803T”（2013年6月發售）相同的2.0μm（L/S）的解析度，并將一次曝光的范圍從最大58英寸進一步提升到了65英寸。因此，相比于舊機型，新產品對65英寸液晶面板的曝光單位時間縮短了約37%※4。

套刻精度的提升

隨著加工工藝的高精細化，套刻精度也變得愈加重要。影響套刻精度的最大因素就是加工工藝中的非線性成分（即形變成分），通過倍率補正技術對非線性成分的有效應對，并與多點同時校正系統配合，新機型的套刻精度相比以往機型提高了10%。

雙曝光線布局進一步提升MMG生產效率

通過對一臺的涂布顯影設備※5連接兩臺的FPD曝光設備的雙曝光線布局，提升了可在玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的MMG※6技術的生產效率。新產品還可以與舊機型“MPAsp-H803T”配合，能使其在不影響現有第8代生產線產能的前提下實現搭配量產。

●　2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板主要運用在電視機的液晶面板制造上。

●　Line and Space的略寫。

●　為制定Ultra High Definition平臺的統一標準，設立了UHD聯盟。Ultra HD Premium認證授予滿足該聯盟制定的所有標準的顯示設備。

●　在第8代玻璃基板上，曝光三片65英寸面板的單位時間比較。

● 曝光前將光刻膠涂在玻璃基板的表面上，曝光后再將其浸沒于顯影液中來去除多余光刻膠的設備。

● Multi Module on Glass的略寫。在一張玻璃基板上配置不同尺寸液晶面板的技術。可提高玻璃基板的使用效率。

引用地址：佳能發布FPD曝光設備新品—MPAsp-H1003T

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