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2018年03月12日 | 精測電子:半導(dǎo)體檢測研究系列

發(fā)布者:EnchantedHeart 來源: 中國證券報(bào)關(guān)鍵字:精測電子 手機(jī)看文章 掃描二維碼
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  支撐評級(jí)的要點(diǎn)

  半導(dǎo)體檢測大體可以分為前道的過程工藝控制檢測(ProcessCotroll)和后道的測試環(huán)節(jié)(ATE)。工藝控制檢測主要包括:(1)OCD結(jié)構(gòu)檢測,如形狀、線寬、膜厚;(2)缺陷檢測;(3)其它小類型的檢測,例如電阻率的測試,離子注入濃度檢測。ATE則包括封裝前的中測(CircuitProbig),即搭配使用集成電路測試機(jī)和探針臺(tái)對每一粒芯片進(jìn)行電壓、電流、時(shí)序和功能的測量,以及封裝后的FialTest(FT)。

  半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場規(guī)模估計(jì)已達(dá)100億美金,工藝流程控制與ATE市場規(guī)模比例為2:1。我們預(yù)計(jì)檢測設(shè)備市場規(guī)模占總體半導(dǎo)體設(shè)備的15%-20%,2017年已超100億美金,其中工藝流程控制(ProcessCotroll)的市場規(guī)模約占2/3,ATE檢測市場規(guī)模約占1/3。

  過程工藝控制檢測主要被KLA-Tecor、應(yīng)用材料、日立三家公司壟斷。

  過程工藝控制檢市場中,規(guī)模較大的產(chǎn)品包括光學(xué)圖像測量、光罩檢測、薄膜測量、晶圓缺陷檢測等,KLA-Tecor在這個(gè)領(lǐng)域均占有50%左右市場份額,其次是應(yīng)用材料和日立,前三家市占率合計(jì)達(dá)到70%。上海睿勵(lì)以膜厚測量為主,其他產(chǎn)品尚未國產(chǎn)化起步。

  ATE檢測市場也被TERADYNE、愛德萬、Xcerra壟斷。ATE檢測包括SOC測試、TF測試、存儲(chǔ)芯片測試、模擬芯片測試等,SOC測試占有ATE60%的市場。ATE的市場集中度也很高,前三家市占率合計(jì)占到90%,其中泰瑞達(dá)市占率最高45%,愛德萬市占率44%,Xcerra市占率低于10%。

  全球半導(dǎo)體檢測龍頭產(chǎn)品優(yōu)勢各異。KLA-Tecor優(yōu)勢在于芯片核心生產(chǎn)環(huán)節(jié)的工藝流程控制檢測,特別是晶圓缺陷檢測,而泰瑞達(dá)、愛德萬、Xcerra主要優(yōu)勢領(lǐng)域在ATE,其中泰瑞達(dá)在SOC測試方面領(lǐng)先,而愛德萬的優(yōu)勢在存儲(chǔ)芯片測試,Xcerra的優(yōu)勢則在模擬芯片測試。

  精測電子進(jìn)軍半導(dǎo)體檢測有助于國產(chǎn)化。國產(chǎn)設(shè)備中,上海睿勵(lì)涉足工藝流程控制中的膜厚檢測,其他工藝流程控制環(huán)節(jié)的檢測設(shè)備國產(chǎn)化還很遙遠(yuǎn),而涉足ATE設(shè)備的廠商有長川科技、北京華峰等,但均以電源管理芯片測試為主,存儲(chǔ)芯片測試和面板驅(qū)動(dòng)芯片測試幾乎是空白。精測電子擬與韓國IT&T合作,進(jìn)軍半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域,彌補(bǔ)國內(nèi)存儲(chǔ)器檢測、面板驅(qū)動(dòng)芯片檢測的空白。

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