據韓媒報道，SK海力士公司內部人士透露，該公司已開始研發第四代10納米級DRAM，內部代號為“南極星”(Canopus)，預計將在制程中導入EUV光刻技術。                                        

目前，SK海力士最先進的DRAM產品主要圍繞1Y納米、1Z納米制造工藝，該公司計劃在今年下半年將這兩種工藝比重提高到40%。此外，SK海力士將繼續推進DRAM的制造技術。

報道指出，“Canopus”將是SK海力士迄今面臨的最關鍵項目之一，因為這是該公司首度應用EUV光刻技術生產DRAM。不過一位消息人士指出:“當下最重要的問題是，SK海力士能否通過使用EUV技術確保其產品的競爭力。”

根據此前報道，三星3月份宣布，已出貨100萬個基于第四代10nm級EUV工藝的DDR4 DRAM模塊，并預計明年量產，同時該公司未來幾代的DRAM產品將會全面導入EUV技術。而據悉，SK海力士旗下該款1a級DRAM預計將在2021年推出，屆時圍繞EUV的芯片制造市場競爭將更加激烈。