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采用四點(diǎn)共線探針和6221電流源判斷電阻率和電導(dǎo)率類型

采用四點(diǎn)共線探針和6221電流源判斷電阻率和電導(dǎo)率類型 Resistivity and conductivity type are fundamental properties of semiconductors and are critical parameters in both materials research and wafer fabrication. A semiconductor’s resistivity depends primarily on the bulk doping, but can be modified through de

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