當今的半導體工業,器件的尺寸已經進入了納米時代。正當越來越多的人開始認為摩爾定律即將失效的時候,層出不窮的新技術,一再刷新著人們對半導體工業未來的的認識。這些技術包括高介電常數材料High-K,金屬柵技術,銅互聯技術,拉伸硅技術,SOI工藝。 與此同時,各種新型的器件也是層出不窮,FINFET,碳納米管這些富有想象力的新型器件也讓人們對半導體工藝的發展越來越充滿信心。隨著半導體工藝向45nm挺進。無論是在芯片設計公司還是芯片制造公司,測試工程師都面臨著越來越大的挑戰。如何應對這些挑戰? 您將在本講義中找到