據悉,上海半導體裝備材料基金已成功入股華卓精科,萬業企業作為裝備材料基金的主要 LP,通過基金入股,迅速布局光刻機雙工臺核心設備。
華卓精科生產的光刻機雙工件臺,打破了 ASML 公司在光刻機工件臺上的技術壟斷,成為世界唯二掌握雙工件臺核心技術的公司。
業內人士表示,華卓精科在光刻機雙工件臺技術上的突破,為我國自主研發 65nm 至 28nm 雙工件干臺式及浸沒式光刻機提供了技術賦能,其對于國產核心裝備發展具有遠大的戰略意義。
萬業企業通過裝備材料基金參投華卓精科,也有利于夯實萬業企業戰略布局國產設備賽道,提升萬業企業的產業協同和價值收益。
據了解,華卓精科將于近期正式申請登陸科創板。
資料顯示,北京華卓精科科技股份有限公司創立于 2012 年,由清華 IC 裝備團隊在清華大學及其下屬“北京 - 清華工業技術研究院”和 02 專項的支持下創立,是一家肩負著專項重大科研成果產業化重任的高新技術企業。公司建立初衷在于將清華大學在 02 專項中積累的高端壟斷技術落地產業化,通過“技術輻射&下行”的方式,面向國內市場提供產業界急需的高端零部件、子系統類產品。
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