上海報道 記者 茅茅
5月21日上午，在上海浦東新區康橋工業園南區，由華虹集團旗下上海華力集成電路制造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目（以下簡稱“華虹六廠”）實現首臺工藝設備——光刻機搬入。
據悉，此次搬入的首臺工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。
據集微網了解，近日陸續有多臺ASML 的設備運入中國大陸晶圓制造廠。其中，中芯國際的已經購入首臺價值1.2億美元的ASML EUV設備；長江存儲的首臺光刻機也已運抵武漢天河機場，這臺光刻機為ASML的193nm浸潤式光刻機，售價7200萬美元用于14nm~20nm工藝。
華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目，總投資387億元人民幣，將建成月產能4萬片的12英寸集成電路芯片生產線，工藝覆蓋28-14納米技術節點。項目計劃于2022年底建成達產，主要從事邏輯芯片生產，重點服務國內設計企業先進芯片的制造，并滿足部分事關國家信息安全的重點芯片制造需求。（校對/劉洋）
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