日前,微機電系統(MEMS)領域的國際頂級會議暨第31屆IEEE MEMS大會在英國貝爾法斯特召開。此次會議有874篇論文投稿,錄用了347篇,接收率為40%。西北工業大學機電學院“空天微納系統教育部重點實驗室”常洪龍教授課題組共有5篇論文在會上進行了展示,其中有一篇論文“A Micro Resonant Electrometer with 9-Electron Charge Resolution in Room Temperature”經過大會技術程序委員會(TPC)38位國際著名MEMS專家的雙盲評審,脫穎而出獲得了本次大會的最佳論文提名獎,并在大會上同時進行了口頭報告與海報展示。該論文的第一作者為西工大機電學院碩士生楊晶,指導教師為常洪龍教授。
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該論文報道了一種基于三自由度弱耦合諧振器的靜電計,在室溫下實現了9.21e分辨率的檢測,更為重要的是這個高分辨率是在300萬個電子這樣的大動態范圍下獲得的,其在基礎物理研究、電子測量、空間探測等領域具有重要的應用前景。
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史海拾趣
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