測量儀器的示值誤差是指“測量儀器示值與對應(yīng)輸入量的真值之差”，基值誤差指“為核查儀器而選用在規(guī)定的示值或規(guī)定的被測量值處的測量儀器誤差”，零值誤差是指“被測量為零值的基值誤差”，固有誤差是指測量儀器在參考條件下所確定的測量儀器本身所具有的誤差。四者定義和應(yīng)用完全不同。
一、測量儀器的示值誤差
測量儀器的示值誤差是指“測量儀器示值與對應(yīng)輸入量的真值之差”。這是測量儀器的最主要的計量特性之一，其實質(zhì)就是反映了測量儀器準(zhǔn)確度的大小。示值誤差大則其準(zhǔn)確度低，示值誤差小，則其準(zhǔn)確度高。
示值誤差是對真值而言的。由于真值是不能確定的，實際上使用的是約定真值或?qū)嶋H值。為確定測量儀器的示值誤差，當(dāng)其接受高等級的測量標(biāo)準(zhǔn)器檢定或校準(zhǔn)時，則標(biāo)準(zhǔn)器復(fù)現(xiàn)的量值即為約定真值，通常稱為實際值，即滿足規(guī)定準(zhǔn)確度的用來代替真值使用的量值。所以指示式測量儀器的示值誤差=示值-實際值；實物量具的示值誤差=標(biāo)稱值-實際值。
二、測量儀器的基值誤差
測量儀器的基值誤差指“為核查儀器而選用在規(guī)定的示值或規(guī)定的被測量值處的測量儀器誤差”。為了檢定或校準(zhǔn)測量儀器，人們通常選取某些規(guī)定的示值或規(guī)定的被測量值，則在該值上測量儀器的誤差稱為基值誤差。
示值誤差是對真值而言的。由于真值是不能確定的，實際上使用的是約定真值或?qū)嶋H值。為確定測量儀器的示值誤差，當(dāng)其接受高等級的測量標(biāo)準(zhǔn)器檢定或校準(zhǔn)時，則標(biāo)準(zhǔn)器復(fù)現(xiàn)的量值即為約定真值，通常稱為實際值，即滿足規(guī)定準(zhǔn)確度的用來代替真值使用的量值。所以指示式測量儀器的示值誤差=示值-實際值；實物量具的示值誤差=標(biāo)稱值-實際值。
三、測量儀器的零值誤差
測量儀器的零值誤差是指“被測量為零值的基值誤差”。是指被測量為零值時，測量儀器示值相對于標(biāo)尺零刻線之差值。也可說是測量儀器零位，即當(dāng)被測量值為零時，測量儀器的直接示值與標(biāo)尺零刻線之差。通常在測量儀器通電情況下，稱為電氣零位，在不通電的情況下稱為機(jī)械零位。零位在測量儀器檢定或校準(zhǔn)或使用時十分重要，因為它無需用標(biāo)準(zhǔn)器就能準(zhǔn)確地確定其零位值，如各種指示儀表和千分尺、度盤秤等都具有零位調(diào)節(jié)器，可以作為檢定或校準(zhǔn)或用作使用者調(diào)整，以便確保測量儀器的準(zhǔn)確度。??
通常測量儀器零值誤差均作為基值誤差對待，因為零值對考核測量儀器的穩(wěn)定性、準(zhǔn)確度作用十分重要。測量儀器的零值誤差可簡稱為零值誤差。
四、測量儀器的固有誤差
固有誤差通常也可稱為基本誤差，它是指測量儀器在參考條件下所確定的測量儀器本身所具有的誤差。主要來源于測量儀器自身的缺陷，如儀器的結(jié)構(gòu)、原理、使用、安裝、測量方法及其測量標(biāo)準(zhǔn)傳遞等造成的誤差。固有誤差的大小直接反映了該測量儀器的準(zhǔn)確度。一般固有誤差都是對示值誤差而言，因此固有誤差是測量儀器劃分準(zhǔn)確度的重要依據(jù)。測量儀器的最大允許誤差就是測量儀器在參考條件下，反映測量儀器自身存在的所允許的固有誤差極限值。
提出固有誤差這一術(shù)語是相對于附加誤差而言的。附加誤差就是測量儀器在非標(biāo)準(zhǔn)條件下所增加的誤差。額定操作條件、極限條件等都屬于非標(biāo)準(zhǔn)條件。非標(biāo)準(zhǔn)(即參考)條件下工作的測量儀器的誤差，必然會比參考條件下的固有誤差要大一些，這個增加的部分就是附加誤差。它主要是由于影響量超出參考條件規(guī)定的范圍，對測量儀器帶來影響的所增加的誤差，即屬于外界因素所造成的誤差。因此測量儀器使用時與檢定、校準(zhǔn)時因環(huán)境條件不同而引起的誤差，就是附加誤差；測量儀器在靜態(tài)條件下檢定、校準(zhǔn)，而在實際動態(tài)條件下使用，則也會帶來附加誤差。測量儀器的固有誤差又可簡稱為固有誤差。
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